加速度传感器的组成部分

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芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造...本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器,由X、Y、Z三个独立的感测单元构成,X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作;Z轴感测单元由外延多... 再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅,最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层,释放MEMS结构,由于不需要昂贵...

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∩＾∩ 案例分享 | MEMS电容式加速度计虚拟仿真实验传感器作为半导体产业重要组成部分,能够有效推动产业的发展,增强产业创新能力和国际竞争力。MEMS传感器将感知信息处理与执行机构相... MEMS加速度传感器设计虚拟仿真实验(3)传感器测控电路设计通过总体任务和分项任务,设计与实现传感器的微弱信号调制、滤波等功能,实现...

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国网青岛供电公司申请输电线舞动数据采集专利,提高输电线舞动数据...通过加速度和角速度传感器、主控单元、NB‑IOT模块和RFID模块构成低功耗的舞动远传系统,通过NB‑IOT模块将监测数据进行远传,通过RFID模块将监测数据本地传输。对于获取的加速度舞动数据和角度舞动数据利用卡尔滤波法进行融合,降低了传感器所采集数据的误差,提高后续对...